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院士之路

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第412章 从江苏武进走出来的工程院院士、着名的微电子专家吴汉明
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例如:芯片制造中的刻蚀、沉积工艺,本质上是等离子体与材料相互作用的物理过程,扎实的数理基础使其能快速理解技术底层逻辑。

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吴汉明在中科院力学所攻读博士研究生,他聚焦等离子体与磁流体力学。

他选择等离子体物理作为研究方向,看似与芯片制造关联较远,实则为其打开了跨学科视角。

等离子体技术是半导体制造中刻蚀、薄膜沉积等关键工艺的核心(如干法刻蚀需利用等离子体电离气体实现材料刻蚀)。

这一阶段的研究,让他提前掌握了芯片制造核心环节的底层技术原理,成为后来解决工程问题的“学术武器”。

吴汉明作为恢复高考后的首批研究生,他获得了稀缺的深造机会。

此时中国科技界百废待兴,他敏锐选择前沿的等离子体物理方向,避免了在传统学科中的内卷,为后续切入半导体这一新兴领域埋下伏笔。

20世纪70-80年代,全球半导体产业正从分立器件向集成电路转型,等离子体技术逐渐成为芯片制造的核心工艺,其研究方向与产业趋势高度契合。

吴汉明的等离子体研究虽未直接服务于芯片制造,却在国家日后发展半导体时,成为稀缺的“跨学科人才”——既能理解物理原理,又具备工程转化潜力。

这种“超前储备”使其在90年代后半导体产业崛起时,迅速成为关键技术攻关的领军者。

吴汉明的海外博士后研究,让他接触到国际前沿技术

在美国得州大学奥斯汀分校和伯克利分校的研究经历,让他接触到全球顶尖的等离子体物理实验室。

他了解到国际学术界在半导体相关领域的最新成果(如新型刻蚀技术、薄膜沉积机理)。

这种学术交流使其研究始终站在技术前沿,避免闭门造车。

吴汉明求学的数理基础→等离子体物理→半导体工艺的知识链条,使他能以“系统思维”看待芯片制造难题。

例如,在解决刻蚀均匀性问题时,他既能从等离子体密度分布的物理模型出发分析,也能结合设备工程参数进行优化。

这种“上下打通”的能力是单一学科背景研究者难以具备的。

基于求学阶段他对国际技术动态的跟踪,早在2000年代,他就意识到“摩尔定律”演进对先进制程设备的严苛要求,以及国产设备自主化的紧迫性。

这种预判

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